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PRODUCT CLASSIFICATION
產品分類
日本MIKASA小型高性能旋涂機涂布機潔凈室用 MS-B100 / MS-B150產品采用AC伺服電機且無刷，因此在防止潔凈室污染方面具有出色的性能，并且減少電機的發熱以防止連續使用時的溫度升高。膜厚再現性也較低。
產品型號：MS-B100 / MS-B150廠商性質：經銷商更新時間：2025-05-07訪 問 量：715
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日本MIKASA小型高性能旋涂機涂布機潔凈室用 MS-B100 / MS-B150 特點介紹
產品采用AC伺服電機且無刷，因此在防止潔凈室污染方面具有出色的性能，并且減少電機的發熱以防止連續使用時的溫度升高。膜厚再現性也較低。
日本MIKASA小型高性能旋涂機涂布機潔凈室用 MS-B100 / MS-B150規格參數
MS-B100
最大板尺寸 φ4英寸晶圓或75×75mm基板
轉速（轉/分） 20～8,000
旋轉精度 ±1rpm（負載時）
發動機 交流伺服電機
蓋 丙烯酸纖維
紡絲室直徑 φ220mm
步進模式數量 100 步 x 10 種模式
時間設置 999.9秒
安全聯鎖裝置 真空標準設備
蓋子可選
滴水裝置 無法安裝
使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
電源 AC100~240V 5A
外形尺寸（毫米） 259寬×246高×330深
重量 10公斤
MS-B150
最大板尺寸 φ6英寸晶圓或100×100mm基板
轉速（轉/分） 20～7,000
旋轉精度 ±1rpm（負載時）
發動機 交流伺服電機
蓋 丙烯酸纖維
紡絲室直徑 φ290mm
步進模式數量 100 步 x 10 種模式
時間設置 999.9秒
安全聯鎖裝置 真空標準設備
蓋子可選
滴水裝置 選項
使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
電源 AC100~240V 5A
外形尺寸（毫米） 352寬×303高×432深
重量 16公斤
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